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Semi S6 대체 가스 선정 작성자 : 서상원\| 작성일 : 2022-11-28 15:04:39.623
안녕하세요, 기존 Semi S6 Test의 Tracer Gas로 진행하였던 SF6가 그룹 내 사용이 금지(온난화 가스) 되어 대체 Gas 를 선정하고자 합니다. (Target gas: Diborane) 1. SF6의 대체 가스로 사용 가능한 가스가 있을지? 2. 장비의 Semi S6 테스트가 귀사에서 가능할지? 답변 주시면 자세한 사항은 전화로 문의 드리겠습니다. 감사합니다.
답변 2022-11-29
안녕하세요 ICR 산업안전센터 이석호 주임 연구원입니다. 문의주신 질의사항에 대하여 메일을 통하여 답변보내드렸습니다. - 담당자 : 이석호 주임연구원 - 이메일 : seokho@icrqa.com - 연락처 : 010-5051-9130 감사합니다.