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SEMI S6 Tracer gas test 관련 문의 작성자 : 유승훈\| 작성일 : 2022-05-30 09:02:14.863
안녕하세요. 에드워드 코리아의 유승훈 사원이라고 합니다. SEMI S6 Tracer gas test 관련해서 몇가지 문의 사항이 있어 연락 드립니다. 1. SF6의 LFL, OEL을 어떻게 확인할 수 있는 지 2. OEL은 SF6 MSDS에서의 TWA 1000 ppm (TWA : Time Weighted Average, 일 8시간 작업을 기준으로 유해 요인의 측정농도에 발생시간을 곱하여 8시간으로 나눈 농도 ) 이 항목에 해당하는 것인지 3. OEL의 25% 이하인지 확인하려면 해당 시스템의 농도를 측정해야 하는데 측정 해야 하는 범위 또는 영역을 선정하는 기준이 있는 것인지 위 3가지 문의 사항에 답변 부탁 드립니다. 감사합니다.
답변 2022-05-31
안녕하세요 ICR 산업안전센터 이석호 주임 연구원입니다. 문의주신 질의사항에 대하여 메일을 통하여 답변드리겠습니다. - 담당자 : 이석호 주임연구원 - 이메일 : seokho@icrqa.com - 연락처 : 010-5051-9130 감사합니다.