천성훈님. 안녕하세요. ICR 강경만 과장입니다. 요청하신 내용에 대한 답변을 아래와 같이 드립니다. 업무 진행 시 도움이 되시길 바랍니다. SEMI F47 (For semiconductor processing equipment voltage sag immuinty) 발행 이력은 아래와 같습니다. SEMI F47-0999 (1999 년 9 월) SEMI F47-0200 (2000 년 2 월) SEMI F47-0706 (2006 년 7 월) SEMI F47-0706 (Reapproved 0812 (2012 년 8 월) SEMI F47-0706 (Reapproved 0812 E (2020 년 1 월) 입니다. 국내에서 시행된 정확한 날짜는 확인할 수 없지만 현재 삼성전자에서 적용하고 있는 규격은 SEMI F47-0706 을 기반으로 적용하고 있습니다. 감사합니다.